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多功能真空镀膜机是怎么构成的？

多功能真空镀膜机是磁控溅射、多弧离子、蒸发镀膜的混合性设备，是在多弧离子镀膜机的基础上装备圆柱靶或平面磁控靶，设备具有离子镀的高离化率、高堆积速度的特色，一起也具有磁控溅射低温、安稳的长处，合适镀各种复合膜。

多功能真空镀膜机--磁控、中频、多弧离子镀膜具体介绍：

①蒸腾与磁控溅射的混合设备:多功能，合适量产，适应性强。

②磁控溅射与多弧离子镀的混合运用:多弧能够进步炮击清洗质量，添加薄膜与基材结合力。与磁控溅射一起作业可镀制复合膜（高能离子源清洗活化，成膜速度快）。

③多对中频磁控溅射靶与柱弧离子镀的混合运用:中频靶更安稳（如Al），离化率高、堆积速率快、成膜均匀。中频反应溅射如镀制Si02、TiO2，一起镀多层不一样原料簿膜。

④射频、直流、中频、柱弧的混合运用：射频能够直接镀制绝缘保护膜如SiO2/Ag/SiO2

⑤圆柱弧、中频、多弧的混合运用:柱弧确保高离化率的一起，削减大颗粒堆积的份额，到达有好的结合力又有较好表面光洁度的作用。多功能真空镀膜机适用中高层次商品如表带、表壳、眼镜框、手机壳、高尔夫球具、卫浴洁具、饰品等。

真空镀膜机镀膜的塑料材料如何挑选

真空镀膜机技术的不断发展，使很多原来不能镀膜的材料也得以实现镀膜，但仍有一部分材料并未研发出解决方案，但我非常期待，因为科技是无穷的，很多以前不敢想象的技术，现在都实现了，将来必须会出现新的一页。

对于真空镀膜机的技术，塑料也是可以镀膜的了，这是一种技术性的发展，但不是所有的塑料都可以用真空镀膜机进行镀膜的，因为塑料本身所带有的某些特性是目前的镀膜技术仍未可解决的。

那么什么样的塑料才能用真空镀膜机镀膜呢，归纳起来，可以分三点来挑选。

首先，塑料本身和所镀膜层之间要有一定的亲和力，只有膜层与工件紧密的结合在一起，才能不易脱落，寿命长久，有些塑料没办法和腊层很好的结合在一起，研究人员发现在塑料表面先涂上一层便于膜层紧密结合的涂料，这样就解决了附着力的问题，但这种涂料在与膜层能加强结合外，现时也要和塑料加强结合，同时满足这两种条件的涂料也不是说那么容易找到，只有一部分的塑料可以找到相应的涂料，但有部分塑料始终还未找到，而这些塑料就不能用真空镀膜机镀膜了。

其次，塑料本身必定会含有一些挥发性的杂质，随着温度的上涨，会挥发逸出，但作为可以镀膜的工件，所能忍受的挥发物质是有限的，所以在挑选塑料材料作真空镀膜时，要选择放气量少的，这样对于真空镀膜机运作时的真空度影响也可以采取措施使其受到控制，如果大量的话就会控制不到而使真空度下降，影响镀膜质量。

后就是塑料受热的稳定性，塑料受到广泛使用就是因为其可以在加温的状态下按照设计者的意愿塑造出想要的形象，这就是受热变形，但在真空镀膜机的镀膜时的环境下，必定产生一定的温度，

如果塑料受热不稳定就会变形，即使镀的膜层再好，工件已经变形，又有什么用呢，所以对于塑料材料的镀膜，都会使用产生的热量低于工件熔点的真空镀膜机，但有些塑料熔点实在在低的，目前的技术仍未解决，所以这些塑料都不适合真空镀膜机的镀膜。

光学镀膜技术在过去几十年实现了飞快的发展，从舟蒸发、电子束热蒸发及其离子束辅助沉积技术发展到离子束溅射和磁控溅射技术。近年来在这些沉积技术和装备领域的主要技术有以下三点：

一、渐变折射率结构薄膜技术与装备：

渐变折射率结构薄膜技术与装备:已经有大量研究工作已经证实Rugate*面型薄膜结构和准Rugate多种折射率薄膜结构通过加强调制折射率在薄膜厚度方向上分布，能设计出非常复杂的光谱性能，(部分)消除

了薄膜界面特征，(部分)消除界面效应，如电磁波在界面上比薄膜内部更高密度的吸收中心和散射，也可以增加了薄膜力学稳定性。

二、磁控溅射光学镀膜系统

以LeyboldHelios和ShincronRAS为代表，磁控溅射技术及装备在精密光学领域和消费光电子薄膜领域占据越来越大的份额。磁控溅射薄膜沉积过程控制简单，粒子能量高，获得的薄膜结构致密稳定。

三、间歇式直接光控：

间歇式直接光控：以LeyboldOptics公司的OMS5000系统为代表，光学镀膜过程中越来越多地使用间歇式信号采集系统，对镀膜过程产品片实现直接监控。相对于间接光控和晶控系统，间歇式直接光控系统有利于降低实际产品上的薄膜厚度分布误差，可以进一步提高产品良率并减少了工艺调试时间。