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不锈钢蚀刻深度不够的原因有哪些?

蚀刻温度太低;蚀刻时间太短;蚀刻溶液老化,浓度低;

兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来告诉大家解决以上问题的方法:加温蚀刻液;适当延长蚀刻时间;增加新的蚀刻液;

防蚀层脱落了是怎么回事呢?蚀刻液温度太高了;防蚀层制作不良;油墨存放时间过长,失效;二次*时间太短;显影后烘烤温度太低或时间太短;预处理不良;

兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来告诉大家解决以上问题的方法:

降低蚀刻液温度;加强蚀刻制作管理;更换新油墨;延长二次*时间;提高烘烤温度或延长时间;加强质量管理;

兴之扬金属蚀刻加工,*不锈钢,铝合金,铜合金以及铁等金属蚀刻,特别擅长电子通讯元件,光学/微孔精密零件,汽车零配件,各类喇叭/听筒网,蚀刻不锈钢网片,金属蚀刻网片,SMT蚀刻不锈钢网盘,微孔网、各类logo铭牌,模型蚀刻片各种工艺品等产品的蚀刻加工,欢迎联系!



兴之扬蚀刻不锈钢网片小编来向大家说说电浆干法蚀刻制程参数:

电浆蚀刻制程参数一般包括了射频(RF)功率、压力、气体种类及流量、蚀刻温度及腔体的设计等因素,而这些因素的综合结果将直接影响蚀刻的结果。

射频(RF)功率是用来产生电浆及提供离子能量的来源,因此功率的改变将影响电浆中离子的密度及撞击能量而改变蚀刻的结果。压力也会影响离子的密度及撞击能量,另外也会改变化学聚合的能力;蚀刻反应物滞留在腔体内的时间正比于压力的大小,一般说来,延长反应物滞留的时间将会提高化学蚀刻的机率并且提高聚合速率。气体流量的大小会影响反应物滞留在腔体内的时间;增加气体流量将加速气体的分布并可提供更多未反应的蚀刻反应物,因此可降低负载效应(Lo*gEffect);改变气体流量也会影响蚀刻速率。原则上温度会影响化学反速率及反应物的吸附系数(AdsorptionCoefficient),提高芯片温度将使得聚合物的沉积速率降低,导致侧壁的保护减低,但表面在蚀刻后会较为干净;增加腔体的温度可减少聚合物沉积于管壁的机率,以提升蚀刻制程的再现性。晶圆背部氦气循环流动可控制蚀刻时晶圆的温度与温度的均匀性,以避免光阻烧焦或蚀刻轮廓变形。其它尚须考虑的因素还有腔体的材质,一般常见的材质包含铝、陶瓷、石英、硅及石墨等,不同的腔体材质会产生不同的反应产物并会改变蚀刻的直流偏压。



PH值在蚀刻不锈钢网片过程中充当着重要的角色:

pH值对光致*蚀剂的性能也有重大的影响,低pH值有助于少的侧蚀(较高的蚀刻系数)。

高pH值一般是针对快速蚀刻而言的。系统每天都开,但板子不是连续运行的,所以水会因挥发造成损失,但这种损失远少于从NHOH添加液中获得的量。所以当pH值过高时,必须增加排气量,升高铜含量或降低补充液中的总碱度,高pH值有助于较多的铜的溶解。高pH值会产生较大的侧蚀并会影响到一些光致*蚀剂的性能,特别是水溶性光致*蚀剂,氨水或NH4OH的添加通常是由一个pH感应控制系统自动完成的。因为NH4OH含水,所以水的补加就必须保持平衡,以确保添加的水不会使氯离子或铜的浓度降低到它们的推荐值下面。

当碱性蚀刻液的pH值较高时,一些水溶性的*蚀剂就会软化,甚至被剥除。因此,较低的pH值可以被应用于精细线路的蚀刻。如果pH值过低,必须通过降低排气,降低铜含量,加入氨水或增加补充液中的总碱度。溶液的pH值在铜的可溶性控制、蚀刻速率和侧蚀方面非常关键。补充液中的NH4OH提供了大量的需要维持碱性的pH值(远高于7.0)的基础液,但额外需要的氨水要求达到推荐的pH值范围(远大于7.0)。相反,低pH值是针对慢速蚀刻的。当氨水中不含会搅乱系统平衡性的水时,氨气在pH值的控制下会工作得很好,但使用时是相当危险的。因此,高pH值的碱性蚀刻剂一般运用于高产率的生产。然而,对于一个给定的碱性蚀刻体系,pH值必须高于低值(依赖于铜的浓度),目的是为了维持溶液中的铜盐含量。


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