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可见,多弧镀膜与磁控溅射法镀膜各有优劣,为了尽可能 地发挥它们各自的优越性,实现互补,将多弧技术与磁控技术合而为一的涂层机应运而生。在工艺上出现了多弧镀打底,然后利用磁控溅射法增厚涂层,后再利用多弧镀达到终稳定的表面涂层颜色的新方法。

大约在八十年代中后期,出现了热阴*电子枪蒸发离子镀、热阴*弧磁控等离子镀膜机,应用效果很好,使TiN 涂层刀具很快得到普及性应用。




其缺点是:

1)工艺比传统单色PVD的更为复杂,流程更为繁杂,真空不锈钢镀钛选哪家,生产难度高;

2)生产良率低,大约为65~70%(传统单色PVD的生产良率一般为85~90%;

3)价格会比传统单色PVD的高50~60%;

4)因工艺和流程的影响,双色PVD生产限制较多,受产品结构的影响较大,而传统单色PVD则几乎不受限制

现代涂层设备(均匀加热技术、温度测量技术、非平衡磁控溅 射技术、辅助阳*技术、中频电源、脉冲技术) 现代涂层设备主要由真空室、真空获得部分、真空测量部分、电源供给部分、工艺气体输入系统、机械传动部分、加热及测温部件、离子蒸发或溅射源、水冷系统等部分组成。




在靶材和衬底之间加上一个直流高压,*板间的气体(一般为Ar2)电离,高速带电离子轰击靶材表面的溅射镀膜技术。要保持自持放电,在两*板间距为数厘米的正常溅射间距下,放电气压一般高达10帕,这对溅射效率和薄膜质量都是不利的。因此,直流溅射多采用非自持放电,也就是加入热电子发射*和辅助阳*的四*溅射,可使溅射在10-1~10-2帕的低气压下进行。


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