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昆山金斗云测控设备有限公司(GOC)是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI Viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,光刻机是世界上精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准,VC微振动标准分为:VC*C-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。全球名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机,某名半导体制造商使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS,无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI Viber-x5振动分析仪的频谱分析功能,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。




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MCSA:(电动机电流特征分析)如电机的三项不平衡,Viber X5振动分析服务,转子条松动,气隙不均等电气故障。

互谱(相对相位): 这个应用程序是相位测量的延伸,交叉相位可以测量出两个振动传感器之间的相位,而不需要转速计。

敲击测试:这个应用程序帮助你找出当机器停止运转时机器的共振频率。

电流环路:此功能主要用于与已安装的 4-20mA 的回路电源监控系统的兼容。

自动诊断:此功能只需设置相关参数即可分析设备不平衡、不对中、油膜振荡、电气故障、游隙过大、压力脉冲、气穴、轴承、齿轮故障等。



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瑞典VMI Viber X5振动分析仪帮您解决离心式除尘器转动问题

离心式除尘器是工业中应用比较广泛的除尘设备之一,多作为小型燃煤锅炉消烟除尘和多级除尘、预除尘的设备。振动是所有转动设备的都会有的问题,振动会引起设备的零部件的疲劳损坏,影响设备的寿命。那么,离心式除尘器的振动问题怎么解决?




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