贴膜蚀刻-蚀刻加工-兴之扬元件蚀刻加工

高精密蚀刻工艺的起源与发展高精密蚀刻技术的起源从有记载的数据可以追溯到14世纪，在那时人们对金属高精密蚀刻还只能说是一种加工技术，还不能上升到工艺这个范畴，因为在当时及以后的几百年里，高精密蚀刻只是由加工者自己的技术水准来决定其加工质量，而不是所有人都可以学到这门技术。到了17世纪，由于*、盐酸、、、苛性碱等强有力地具有高精密蚀刻作用的强酸、强碱被先后发明，才使高精密蚀刻技术有了新的发展。17世纪后期，人们已经开始使用高精密蚀刻技术进行测量工具刻度的加工，作为工具已有别于以前的艺术品的加工，它要求其产品的一致性高，这就要求高精密蚀刻技术能做到一定批量的产品在质量上的一致性，这就需要一种规范来规定每个加工工序的要求。到了20世纪，由于与金属高精密蚀刻有关的技术先后得到了解决，同时金属高精密蚀刻技术经过几百年的的艰难历程，人们也积累了足够的经验，并在这些经验之上形成了高精密蚀刻的理论。使高精密蚀刻加工从航空航天到普通民用产品都被大量采用。

精密蚀刻工艺的处理工艺

精密蚀刻之后的处置也是很重要的。首先我们需求将曾经蚀刻完成的资料及时停止清洗，由于运用的蚀刻溶液都是具有较强的腐蚀性，假如不停止清洗的话，蚀刻溶液就会残留才资料外表，对资料形成不时的腐蚀，这样加工完成之后的资料就会发作变色或许被毁坏原有的效果。

在清洗之后资料也需求停止吹干，然后厂家将会选用合适资料的办法来去除维护涂层，然后就可以停止一步，外表精饰。

精密蚀刻之后普通都会经过这一个步奏，详细的精饰状况也要依据设计的要求停止，普通要求外表光亮的话可以采用电解抛光，这样就可以无效的去除不锈钢外表的残留物或许是腐蚀物，然后经过抛光之后的资料光亮度也会失掉无效的提升，有些资料由于触及需求，也可以停止亚光处置或许的着色。

湿式蚀刻的优缺点

低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：1)需花费较高成本的反应溶液及去离子水；2)化学*处理时人员所遭遇的安全问题；3)光阻附着性问题；4)气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻；5)废气及潜在的性。

湿式蚀刻过程可分为三个步骤：1)化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；2)蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应；3)反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出(3)。三个步骤中进行慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤，各种形态的反应都有可能发生，但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化，再将此氧化层溶解，并随溶液排出，如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻*时即是利用此种化学反应方式。