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镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响 :

偏压:偏压施加于工件上,在辉光清洗时工件(阴*)与炉体之间产生辉光放电,部分气被电子离化产生离子,离子(带正电)在负偏压作用下受工件吸引轰击清洗工件表面,偏压越大,对工件的轰击净化越干净,但同时工件本身的温升也越大,特别是尖角位棱角位置;在离子轰击中用于加速离子,提高离子轰击工件表面的能量,去除表面氧化层和吸附物,达到提高膜层结合力的作用。







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真空镀膜之多弧离子镀 :

电弧电流一般为几安至几百安,工作电压为10-25V,这时阴*表面的全部电流集中在一个或多个很小的部位 , 形成明亮的阴*弧斑 , 阴*弧斑的直径为0.01-100um, 并以高达100m/s的速度在阴*靶表面随机运动 ,乐平塑料反光杯镀膜, 也可以利用磁场控制阴*弧斑的运动。在阴*弧斑的前方是高密度的金属等离子体, 由于电子向阳*快速移动而使阴*斑点前方出现离子堆积即形成正空间电荷 , 从而在阴*附近形成*强的电场, 导致场电子发射以维持弧光放电。


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真空镀膜之多弧离子镀 :该装置的优点是阴*电弧源既是蒸发源和离化源 ,又是加热源和轰击源,塑料反光杯镀膜生产厂家,不用熔池,弧源可任意方位,多源布置。离化率高,一般可达60%-80%蒸发沉积速率快, 入射粒子能量高,沉积膜的质量和附着性能好。可蒸发各种导电材料,金属或合金, 成份不受限制。能进行反应镀膜,缺点是易于产生液滴,*不致密。


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