实验室气路设计-念龙化工-实验室 气路 设计

{管道氮气置换}流程2

管道氮气置换前应由施工单位、监理单位、建设单位和生产部门联合检查确认现场置换条件

当氮气所填充管段内压力达到规定压力，经测氧仪检测末端出口氧气浓度含量应小于规定值，并且连续3次(每次间隔5分钟)达到此值，实验室气路设计 管路，注氮作业合格予以验收。

验收合格后，如果不立即引入，应对置换管段进行密封保存。填写并完善管道氮气置换记录。

实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，实验室 气路 设计，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，实验室气路设计，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。

1、应按设计文件要求，在管道安装完成、热处理、无损检测、水压试验、管道干燥合格后方能进行管道置换工作

2、氮气置换前，应由建设/监理单位、施工单位和有关部门对下列资料进行审查;

(1) 管道组成件、焊材的制造厂质量证明书;

(2) 管道组成件、焊材的校验性检查或实验记录;

(3) SH*管道弯管加工记录、管端的螺纹和密封加工记录;

(4) 管道系统隐蔽工程记录；

(5) 符合要求的单线图、PIamp;D工艺流程图;

(6) 无损检测报告;

(7) 压力试验报告

(8) 合格认证单

(9) 设计变更及材料代用文件。

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