PERC电池石墨舟生产-PERC电池石墨舟-东莞石金科技

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电****和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

PE镀膜后四周发白浅析，PERC电池石墨舟厂家，近期经常接到客户咨询，石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题，用了*个循环后，PERC电池石墨舟，清洗后就会发现这个问题。

这次就问题发生的原因做一个说明，并且给大家一些解决方法。

附下图颜色与膜厚的关系

一般来说我们机台出现问题基本上为三类，偏红，正常蓝，偏白（对应表中的淡蓝色，无明确的白色膜厚，此时的白色部分膜厚接近90左右）

硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色，通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后，就会得到我们需要的工艺颜色。

客户所说的四周发白，可以理解成膜厚偏厚，假如建一个基准以77-83为正常膜厚，小于77很多可以理解成红片，大于83很多可以理解成偏白。上面说了片子是通过一定的化学反应生长出来的，现在客户反应的是偏白，就代表膜长的厚。厚的生长速度一般同温度和高频的功率有关。

石墨舟是正负间隔连接的，可以等效看成是多个电容器的并联，那么舟片正对面积和舟片间距的改变就会导致电容器容*的变化，导致镀膜的场强变化。建议你增加压力，一般的效果是中间镀膜异常区域的面积会越来越小，然后适当改变气流比例(注意是气流比例，SIH4在特气中的比例较为重要)，同时适当等比例增加气流总量！为了能有效增加场强强度，功率也需要增加！

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电****和相关的石墨制品，PERC电池石墨舟加工，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

挤压石墨，多为电****材料。

（1）石墨更容易研磨和抛光；由于石墨的切削阻力只有铜的1/5，更容易进行手工的研磨和抛光；

（2）材料成本更低，PERC电池石墨舟生产，价格更稳定；由于近几年铜价上涨，如今各向同性石墨的价格比铜更低，相同体积下，东洋炭素的普遍性石墨产品的价格比铜的价格低30％～60％，并且价格更稳定，短期价格波动非常小。