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深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电****和相关的石墨制品,太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟加工车间的防尘与除尘

吸尘管道应统一规划,石墨舟加工, 布局合理。如车间内的吸尘管道的架设, 要考虑到加工工艺特点, 与生产协调一致,石墨舟生产, 尽量不影响工艺操作。

机床、车间应定期清洁。定期将机器中累积的深圳石墨舟粉尘集中清理, 做好机床工作台、防尘盖的清洁工作, ****二次污染。



168变196片,舟片间距肯定是要变化的,否则舟片间的电场强度就会降低很多。石墨舟的舟片间距和数量是对镀膜至关重要,增加了舟片就要相应的减少片间距,并*射频电源的功率。你做168片的时候射频功率是2500W,建议做196****到3000瓦试试。并且你的问题片只出现在中间靠近射频电源的地方很大的可能是石墨舟的问题,你的石墨舟电****突出一小部分这样会使电****和舟片间的电离强度*,减小了这2片舟片间的沉积效果。电****隔块上的花纹就是放电沉积的结果,可以加的工艺气体流量看看是否有****。设备应该是不存在什么问题的。



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石墨舟承载车专门用于太阳能行业与PECVD配套,石墨舟厂家生产,取出石墨舟,旋转180度便于装硅片

石墨舟承载车主要特性:

1. 采用不锈钢与铝型材制造,洁净度高。

2. 可调式油压缓冲器,石墨舟,冲击小及平稳。

3. 能保证与PECVD准确*。

设备名称:石墨舟承载车

设备型号:FKSCZC02

设备概述:本设备是用于太阳能行业与PECVD配套,取出石墨舟,旋转180度便于装硅片,同时能用于石墨舟装片房装取硅片,用于石墨舟冷却房对石墨舟进行冷却


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