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深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电****和相关的石墨制品,太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨加工怎么进行选择刀具?

刀具是否正确选择直接决定了加工的效率、质量。因此,我们如果想要对石墨加工的质量进行有效地控制就必须选择合理有效地刀具。例如:石墨材质本身就比较便于切削,所以对于一些表面精度要求不高还要控制成本的产品可以采用高度钢的刀具。刀具的切削性能直接决定着加工质量、加工效率、以及刀具耐久度等,因此一定要对刀具的材料进行合理的选择。刀具的硬度和韧性是相矛盾的,硬度越高,*性越好,但同时韧性就越低、质地越脆。同时,石墨是由石墨粉末压制而成,只始于采用干切削方法,但是高速钢的*性很差,在加工中****容易产生严重磨损,因此不能用高速钢的刀具加工精度、质量要求比较高的石墨产品,而应该用那些涂层刀具或者*性比较好的刀具。例如:采取硬质合金涂层刀具、硬质合金YG8刀具等。硬质合金主要有TiC、TaC、WC等难熔金属碳化物以及铁粉通过冶金方法提炼出来的。同普通高速钢相比,硬质合金钢具有着硬度高、*性好的优点;同时,与超硬材料相比具有着韧性好的优点。硬质合金钢的涌入非常广泛,不仅提升了生产效率,还****了石墨产品的质量。因此,在刀具的选择中一定要进行****恰当的选择。


深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电****和相关的石墨制品,太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

PE镀膜后四周发白浅析,近期经常接到客户咨询,石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题,石墨舟生产,用了*个循环后,清洗后就会发现这个问题。

这次就问题发生的原因做一个说明,石墨舟厂家生产,并且给大家一些解决方法。

附下图颜色与膜厚的关系

一般来说我们机台出现问题基本上为三类,偏红,正常蓝,偏白(对应表中的淡蓝色,无明确的白色膜厚,此时的白色部分膜厚接近90左右)

硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色,通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后,就会得到我们需要的工艺颜色。

客户所说的四周发白,可以理解成膜厚偏厚,假如建一个基准以77-83为正常膜厚,小于77很多可以理解成红片,大于83很多可以理解成偏白。上面说了片子是通过一定的化学反应生长出来的,现在客户反应的是偏白,就代表膜长的厚。厚的生长速度一般同温度和高频的功率有关。




深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电****和相关的石墨制品,太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟置于炉管中,紧贴炉管外壁设有弧形进气管,石墨舟,弧形进气管沿炉管壁表面设有直通炉内的进气小孔,所述进气小孔正对石墨舟上的石墨舟片之间的缝隙,所述弧形进气管上设有总进气管;本实用新型可以使特气通过总进气管进入炉管上的弧形进气管中,在弧形进气管中进行再分布,然后通过进气小孔进入炉管内的石墨舟,均匀的充斥在石墨舟片之间的缝隙中,在硅片表面均匀分布,能够一定程度上减少PECVD色差片的产生。



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