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【气体知识】电子气体的主要用途

进入20世纪90年代以后，随着我国高新技术的快速发展，计算机工业对大规模集成电路、液晶显示器的需求大量增加；随着新型能源的发展，我国大力开拓了多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产；此外，新型电光源、光电半导体器件（GaAs、InP、AlGaAs）、光纤通讯器件也获得迅猛发展，在上述高新产品的生产中，都需要大量高纯气体，以制造出性能可靠的各种器件。

大规模集成电路

化学气相沉淀：SiH4，NH3，储罐，O2，N2O，TEOS（四乙氧基硅）

化学刻蚀：CF4，SF6，液*储罐，NF3，Cl2，CCl，BCl3，KrF，ArF，HBr，HCl

化学掺杂：BF3，B2H6，PH3，AsH3

液晶屏

化学气相沉淀：SiH4，SiNx

化学刻蚀：SF6，HCl，Cl2

太阳能电池

化学气相沉淀：SiH4，NH3，NF3

扩散、刻蚀：POCl3，O2，CF4

光电半导体

化学气相沉淀：AsH3，PH3，NH3，N2，H2

化学刻蚀：BCl3，Cl2

光导纤维

化学气相沉淀：SiH4，SiCl4，D2，GeCl4

化学刻蚀：CF4，KrF，ArF，Cl2，SF6

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标准气体稳定性试验

标准气体稳定性试验是测定标准气体浓度值随时间的变化曲线，可根据各种气体的特点，采用不同的测定方法。为了使测定结果准确可靠和具有可比性，不仅要使用*的测定方法，而且在每次测定之前都要用新配制的基准标准气体来校准测定仪器。标准气体浓度值随时间的变化.通常用变化率来表示，就是以0d测定值为100%而求得的不同时间里的浓度变化百分比，可按下式计算：

用变化率对时间绘制曲线，则会得到变化同线。这种变化率曲线能够直观地说明标准气体的稳定性。

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标准气体使用注意事项

标准气体的特殊性，对使用过程中有着特殊的要求，很多使用者由于操作的不规范，二氧化碳储罐，使得数据偏差很大，以下提出在标准气体使用过程中应该注意的几个方面：

六、标准气体的进样：进样可分为动态进样和静态进样两种方式，有些仪器如在线用气体分析仪器、实验室用非色散红外体分析仪器、化学发光仪、报警仪等采用动态进样，液氮储罐，此时应当（在压力恒定流量稳定时进样）准确计量进样流量，保证气体标准物质和被测气体在校准过程中进样流量的一致性****由于流量的差异引起的误差。静态近样多用于气相色谱仪，其进样阀多为六通阀，阀门带有定量管为了保证定量管中的压力一致，要么在样品气出口带一个压力表来指示每次进样压力一致，要么保证定量管的压力和大气压力保持平衡，稳定不变的进样手法对检测结果的准确可靠很有帮助，需要使用者慢慢在实验中掌握。

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