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沈阳诺思真空技术有限公司成立以来,微光夜视真空系统,一直致力于真空应用技术的发展与进步,设计全部采用三维立体软件,长期与中科院长春光机所、北方夜视集团、西安应用光学研究所、中船重工717所、西安北方捷瑞光电科技有限公司、中电集团第33所、云南北方驰宏光电有限公司、中物院激光聚变研究中心等科研单位合作,并且在****高真空应用领域已拥有较高的声誉。


罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,微光夜视真空系统,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的****限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的****限真空。为了****泵的****限真空度,可将罗茨泵串联使用。






真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。

相比较原来常用的机械油泵,可以杜绝油泵中的油气进入真空室,污染基片,降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后,再打开闸板阀,用低温泵抽高真空,低温泵的特点是抽速大,尤其是除水蒸汽的能力非常强。


溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的核心部分。


基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质,无锡真空,可以****薄膜与基片的附着力,另外对于某些金属,合适的温度能****薄膜的质量。


真空是一种不存在任何物质的空间状态,是一种物理现象。在“真空”中,声音因为没有介质而无法传递,但电磁波的传递却不受真空的影响。


事实上,微光夜视真空系统,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压强小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空或真空状态。


真空常用帕斯卡(Pascal)或托尔(Torr)做为压力的单位。目前在自然环境里,只有外太空堪称****接近真空的空间。



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