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真空电镀设备镀膜前为何需要清洗？

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，真空蒸镀装置生产商，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。

主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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真空电镀设备镀膜前为何需要清洗？

真空电镀设备使用一段时间后，真空蒸镀装置品牌，需要清洗，很多人会问为什么？不定期清洗会会有什么问题呢？下面分析一下真空电镀设备不清洗会怎样。

使用真空电镀设备镀膜之前，对镀膜材料做简单的清洗可以延长镀膜机的使用寿命，由于各种污染物不仅会使真空系统不能获得所需要的真空，真空元件也会影响镀膜机部件的连接强度和密封性能。

真空镀膜机中常见的污染物：

1、油

包括加工，装配，操作期间用到的润滑油，切削液，真空油脂等；

2、操作时，手汗、吹气时口中的唾沫、水蒸气、酸、碱、盐等；材料清洗时的残余物质，手汗，水中的矿物质；空气中的尘埃和其它有机物残留和抛光粉尘等。

清理这些污染物，****于****真空电镀设备工作的稳定性，使工作可以更顺利地进行。

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蒸发镀膜机*

有些企业对于镀膜设备的维护*还不是很了解，导致在需要进行*维护时，却只知道该怎么做。

1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，需要清洁工作室一次。方法是：用NaOH饱和溶液反复擦洗真空室内壁，目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室，以及用布沾油清洗精抽阀内的污垢。

2、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将*喷嘴拧出，先用油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水*清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，真空蒸镀装置，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。

方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

3、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内的污垢。真空蒸镀装置

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泰科诺镀膜机

真空镀膜机

镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，真空蒸镀装置厂家，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且****终沉积在基片表面，经历成膜过程，****终形成薄膜。

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