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电子束蒸发镀膜机旋片泵容易坏怎么办？

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，实验电子束蒸镀机厂家，热丝CVD设备，实验电子束蒸镀机品牌，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

实验电子束蒸镀机

在电子束蒸发镀膜机的使用过程中，我们如果不注意*。那么就会产生很多不必要的麻烦。这对于整个作业来说都有着较大的影响。电子束蒸发镀膜机旋片泵故障就是其中之一。

电子束蒸发镀膜机产生这个问题的原因可能是灰尘问题，有些真空镀膜设备的接摸过程中会产生大量的灰尘，而这些灰尘被旋片泵抽气过程中随气体进入到了旋片泵里面混杂在泵油中，久而久之就对泵的转子和泵腔造成磨损和*。如果灰尘很多，那么需要使用除尘器配合油过滤系统才行，这样就能保证旋片泵不容易坏的同时，并提升使用寿命；如果灰尘量不是特别多，实验电子束蒸镀机，那就只要用油过滤系统滤除掉灰尘就行。

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电子束加热蒸发源

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，实验电子束蒸镀机公司，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

实验电子束蒸镀机

电子束加热蒸发源

电子束的蒸发源主要是由电子枪和坩埚两部分组成，必要的时候可能会附带一套可以给镀膜机提供原材料的机械设备。在大多数的情况中，在镀膜机中会将产生以及控制电子束的控制装置和坩埚的设计组成一个整体。以下是电子束加热蒸发源的几种表现的结构形式;

①采用直线阴****和静电聚焦方式加热的蒸发器。

②采用环状阴****和静电聚焦方式加热的蒸发器。

③采用轴向枪和静电远聚焦方式加热的蒸发器。

④采用轴向枪、磁聚焦和磁偏转90度方式加热的蒸发器。

⑤E型电子枪蒸发器，e型电子束蒸发源所发射的电子轨迹与"e"字相似，故简称e型枪。

目前这种形式的蒸发源在真空蒸镀膜工艺中应用****为广泛。

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