管式炉,水平管式炉,热科炉业

管式炉结构

烟囱和烟道：

      其作用是将炉膛的烟气排入大气中，内部均用耐火和保温材料衬里。为调节烟气排除速度，还装有可活动挡板。烟气流动为上抽式的加热炉烟囱安装在对流室上部；烟气流动为下行式的加热炉，烟囱安装在炉侧，并设有烟道。

  吹灰器：

       其主要作用是****积灰，尽量保持炉管表面始终干净，用以强化对流管的对流传热，****炉的热效率。炼厂应用的吹灰器有自动伸缩式和固定旋转式两种。

　目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。

　　除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied

Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用*的*气，安全性****很多，另外沉积速率很高。

如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：

　　■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司

　　■ 40 KHz：Ce*otherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统

　　■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统

　　■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法

　　■ 460 kHz：Ce*otherm公司管式直接法

　　■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统

　　■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。

炉体的安装

电炉可放置在工作台上，以适合*的生理操作高度，工作台的有效承载应大于200KG。

电气安装电源配置：220V（380V）。按用户的电控柜配置功率应大于4Kw。

热电偶插入炉膛深度25mm，采用N分度号补偿导线与控温仪表联接。

注意：应先装石英管后装热电偶，热电偶不能与石英管接触。

电炉和控制柜整体接地，接地线接地电阻应小于4Ω。电阻丝接线方式：二根并联，电源：单相220V（或380V）。检查及紧固由于运输等原因，应检查炉体各螺钉的紧固情况，确认无误。