VCM弹片蚀刻-蚀刻-兴之扬蚀刻加工厂

精密蚀刻工艺过程中需要注意的问题

纵观精密蚀刻技术的开展进程，以程度延续电解精密蚀刻技术替代传统化学精密蚀刻技术是蚀刻技术的开展趋向。电解精密蚀刻技术的不时改良，*自控技术和*工艺的运用，特别是许多高新技术的使用，促使蚀刻技术向高新技术方向开展。延续电解蚀刻技术配备不只要具有蚀刻的功用，还必需具有抛光、外表糙化、前处置等功用。如电解蚀刻之脱泥，使电解蚀刻与再生资源回收无机地结合起来。电解蚀刻沉淀而得的金属氢氧化物泥就是良好的化工原料,可以完成废物应用。

能够影响蚀刻工艺品质量的因素都有哪些呢？

1、蚀刻工艺品的方式：浸泡和鼓泡式蚀刻会形成较大的侧蚀，泼溅和喷淋式蚀刻侧蚀较小，尤以喷淋蚀刻效果好。

2、蚀刻液的品种：不同的蚀刻液化学组分不同，其蚀刻速率就不同，蚀刻工艺品的蚀刻系数也不同。例如：酸性*蚀刻液的蚀刻系数通场3，碱性*蚀刻液的蚀刻系数可到达4。近来的研讨标明，以为根底的蚀刻零碎可以做到简直没有侧蚀，到达蚀刻的线条侧壁接近垂直。这种蚀刻零碎正有待于开发。

湿式蚀刻的优缺点

低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：1)需花费较高成本的反应溶液及去离子水；2)化学药品处理时人员所遭遇的安全问题；3)光阻附着性问题；4)气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻；5)废气及潜在的性。

湿式蚀刻过程可分为三个步骤：1)化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；2)蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应；3)反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出(3)。三个步骤中进行慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤，各种形态的反应都有可能发生，但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化，再将此氧化层溶解，并随溶液排出，如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻*时即是利用此种化学反应方式。