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扫描电子显微镜基本的功能仍然是放大镜的功能,它实现了人眼和光学显微镜无法观察到的样品更详细的特征。 广泛应用于材料科学研究、生物学、工业制造等领域。

扫描电子显微镜的制造是基于电子和物质的相互作用。 当一束高能入射电子轰击材料表面时,激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子以及可见光、紫外光和红外光。 该区域产生的电磁辐射。 同时,还可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。 原则上,可以利用电子与物质的相互作用来获得被测样品本身的各种物理化学性质,如形貌、成分、晶体结构、电子结构、内部电场或磁场等。


电子半导体材料是现代制造的基础,是推动集成电路产业发展*的关键,几乎贯穿整个集成电路制造过程。电子器件在实际服役过程中,由于设计原因或器件与环境相互作用,性能或结构发生变化,可能会出现性能下降或者*,需要对失效的原理、机理进行明确并制定相应的改善措施。

扫描电镜通常使用10KV~30KV加速电压工作,可获得图像;微区成分分析也能提供可靠的定性定量结果。然而对于某些热敏或者导电性能差的样品,如:半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等,有时不允许进行导电处理,而要求直接观察。即可选用低电压成像技术,选用1~5KV或更低的加速电压进行成像。


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