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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司





真空腔体

真空腔体是内部为真空状态的容器,很多*的技术工艺均需要在真空或惰性气体保护条件下完成,真空腔体是这些工艺过程中重要的基础设备.

根据真空度真空被分为低真空(100000-100Pa),中真空(100-0.1Pa),高真空(0.1-10-5Pa),超高真空(10-5-10Pa)。低真空主要应用于隔热及绝缘、金属熔炼脱气、无氧化加热、真空冷冻及干燥和低压风洞等;高真空主要应用于真空冶金、真空镀膜设备等领域;超高真空则偏向物理实验方向。





维修应注意哪些环节?

检验是个细致活,每个细节都不要落掉,更不能存在侥幸心理。有一台设备,用户存放4年了,做完了常规的清理工作按部就班地连接好管路开始抽真空,怎么也达不到出厂标准,什么都查了,不锈钢真空腔体加工中心,就是一根供气的真空胶管没查,当时就认为真空胶管不会漏。结果恰恰相反,问题就出在这根真空胶管上。

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真空腔体——实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、*限压力下降都是因为泄漏,在使用检漏仪检漏前,有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物,半导体真空腔体加工中心,在真空下持续的释放出气体,这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间,并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时,死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来,形成类似于放气或泄漏的现象,通常把这种现象叫做虚漏。真实的泄漏可以通过检漏找到,真空腔体加工中心,放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决,而虚漏一旦产生,很难被发现,需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺,如上图中的螺纹连接(一定要用的话可以使用空心螺栓),很长的狭缝或毛细管,两侧满焊的腔体焊接(较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊)等等。



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