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标准气体的使用注意事项

1、可燃气体的燃爆限，从安全的角度出发，在制备标准气体之前，必须对标准气体混合的可行性进行研究。特别要考虑各组分气体的燃爆*限，在制备由可燃气体和氢气（或氧气）组成的标准气体时，氦气，要注意组分气体含量是否超过燃爆限的问题。否则在制备过程中，可能发生燃爆事故。燃爆限是可燃性气体的重要技术数据。在配制含有可燃气体组分的标准气体前，必须了解该组分的燃爆限，氦气价格，以确保安全。

2、气体的饱和蒸气压及其他性能，要了解各组分的饱和蒸气压及其他性能，考虎是否会产生冷凝作用、标准气体中组分与钢瓶同僻壁材质之间的作用、各组分间的反应等。

半导体气体很多是对**。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造*员生命的危害，氦气厂家，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

笔者认为， 所谓高纯气体纯度是通过规定方法直接测得或扣除规定杂质计算求得的浓度值。这种规定是生产者和用户依据生产过程和使用目的共同协商的结果。评价高纯气体的质量， 除进行“纯度”指标评价外，氦气多少钱， 还需依据标准对规定杂质进行逐一核对。任何一项超出规定的要求， 都不能称之为合格品。一般高纯气体供应系统目前主要有三种形式：1. 现场制气，管道输送供气；2.外购液态气体，气化后管道输送供气；3.外购气体钢瓶，用气体钢瓶(组)供气。

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