ADT 8230_12寸切割机_全自动双轴

ADT 8230_12寸切割机_全自动双轴
ADT 8230是一款成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机切割工件尺寸可达12英寸。

ADT 8230全自动双轴12寸切割机特点：
· 灵活性-支持3英寸刀片；
· 支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割)；
· 使用17英寸触摸显示屏，操作界面直观；

全自动双轴12寸切割机8230其它重要特点
· 切割大幅降低使用成本；
· 空气主轴；
· 快速自动对齐及切割定位；
· 高的自动刀痕检测及切割质量分析；
· 切割过程数据记录和统计分析；
· 更换刀片时锁定主轴，操作更快速、简便；
· SECS/GEM通信标准；
· 机器维护时可触及系统的任何区域，带来维护的便利性；

ADT全自动双轴12寸切割机8230规格：
MAX工作盘尺寸                    φ300mm
X轴     切割范围                    310mm
          进刀速度输入范围    0.1-600mm/s
Y1&Y2轴   切割范围                    310mm
                 单步步进量    0.0001mm
                 定位精度                    Within 0.002/310 mm
　                                   （Single step accuracy）within 0.002/5
Z轴     行程                    30mm（对应2英寸刀片）
          移动分辨率                    0.0001mm
          重复精度                    0.001mm
θ轴     旋转角度                    380deg
主轴    主轴类型                    对向式双主轴
          额定扭矩                    0.33（1.8kw）N.m
          回转速                    6,000 ～60,000(1.8KW)min-1
刀片尺寸                                    2"
视觉系统                                    1倍和8倍高清光学相机 相机光源：LED（直光 & 斜光）
尺寸（W×D×H）                    1220 × 1550 × 1850 mm
重量                                    Approx 2000kg

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