小型氦质谱检漏仪-氦质谱检漏仪-科创真空(查看)

氦质谱检漏仪的校准方法

氦质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。

氦质谱检漏仪原理:

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，小型氦质谱检漏仪，根据不

氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。

氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。

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检漏仪的故障和处理

1设备的分子泵不启动

分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。

2设备的质谱室不能正常工作

质谱室主要是灯丝无法正常加电，小型氦质谱检漏仪，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，小型氦质谱检漏仪，则需要更换离子源。

3前级机械泵工作不正常

主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，氦质谱检漏仪，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在 10至 40之间使用。

氦质谱检漏的成本控制

工件干湿度的控制

对一批同尺寸规格的4 台的板翅式换热器进行氦质谱检漏时，检测各出工件通道的湿度，做了记录，然后挑出2 台进行烘干和氮气置换，然后对所有工件通道进行抽真空。进行对比后发现，达到同样的真空度，没有进行烘干和氮气置换的工件其花费的时间增加40%-60%。

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