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硅离子刻蚀是在低压状态下，反应气体CF4的母体分子在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中

的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团。活性反应基团由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，在那里与被刻蚀材

料表面发生化学反应，并形成挥发性的反应生成物脱离被刻蚀物质表面，被真空系统抽出腔体。

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跑者计划将有望进一步推动发展。自2015

年推动者计划以来，我们看到越来越明显的政策导向，从过去对所有光伏项目的支持政策，转向扶持电池和组件的针对性政策。因此2015 年之后拥有更高的单晶电池系列超越原来高的多晶电池系列获得市场份额的提升，从2015 年的10%提升至2017 年30%。根据天合以及华东理工的测试数据，使用双面双玻组件在不同地面的发电增效在5-27%左右，其中草地仅增加5%，而地面白漆将增加25%-27%的发电量。

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双面双玻电池的主要优点在于更高的发电量以及双玻组件带来的更高*性(防水，使用寿命长等)。而这个发展主要也是因为大量电池企业开始转向PERC，使得双面电池经济性和效率开始上升(传统BSF

电池，由于背面存在少子复合问题，使用双面技术会大幅降低正面转化效率，因此只能用于少数场景)，且普通双玻电池在天合等企业的推动下开始逐渐增加。