哈密地区爱德华真空泵-爱德华代理-爱德华真空泵GV400

概述

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

应用

半导体制程、真空蒸馏、真*装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光

功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

*的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。

轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是*技术设备的制造商所需要的。

订购信息

Edwa*真空泵 EH4200 罗茨真空泵 爱德华罗茨泵 机械增压泵

EH4200 Industrial

●EH4200IND 380-415 V， 3-ph， 50 Hz， 11 kW A30975946

●EH4200IND 200 V， 3-ph，爱德华真空泵GV160， 50 Hz， 11 kW NRC215000

●EH4200IND 208-230 V or 460 V，哈密地区爱德华真空泵， 3-ph， 60 Hz，爱德华真空泵GV600， 15 hp A30976982

●EH4200IND 200 V， 3-ph， 60 Hz， 15 hp NRB988000

EH4200 PFPE*

●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V， 3-ph， 50 Hz， 11 kW On application

●EH4200FX 208-230 V or 460 V， 3-ph， 60 Hz， 15 hp On application

EH4200 Chemical**

●EH4200C 230 V or 460 V， 3-ph， 60 Hz， 15 hp A30956982

●EH4200T3 380-415 V， 3-ph， 50 Hz， 11 kW A30941935

●EH4200T160 380-415 V， 3-ph， 50 Hz， 11 kW A30979900

维修爱德华真空泵 E2M80真空泵维修*

供应Edward爱德华EM 系列（大型油封式真空泵）维修*，主要型号：E2M18， E2M28， E2M30， E2M40， E2M80， E2M175， E2M275，同时提供爱德华真空泵维修包，爱德华真空泵GV400，*配件，进口爱德华真空泵油，*提供后期*技术支持，，希望广大的客户朋友可以在茫茫互联网中找到一家技术成熟，又高的爱德华真空泵维修厂家、、、、

承诺：

1：凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用过程中导致贵司的真空泵故障和异常，我司将*负责处理和维修，并*提供机器给客户备用，以确保客户正常生产。

2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用过程中，在保用期内出现任何质量问题我司将对其*更换。

3：在未涉及到真空设备组装、加工技术的前提下，其它日常*及维修，我司*提供技术支持。

4：珠三角范围客户我司承诺24小时内派出技术人员到达客户公司及时处理真空设备故障，东莞范围客户8小时到达。

E2M80真空泵维修*覆盖地区：各地，珠三角地区可以*提货，如有特殊需要可以提供现场维修。外地的一般是走物流，我司维修好后再邮寄回去。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的*，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。