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真空镀膜设备真空泵的选择

1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

2、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

真空镀膜的过程中产生的斑点如何处理？

针对喷点、潮斑(花斑)的成因,在生产中采取了以下一些措施以消除喷点、潮斑(花斑):

1、选择可靠的材料供应商,并对购买的每批材料在投入使用前先做一测试,判定材料的可靠性。

2、规范材料的领用、保管,(干燥缸,干燥剂)保证材料不受潮,材料性质无变化。

3、规范镀膜操作,严格执行预熔、蒸镀的操作规程。蒸镀前的材料预熔一定要,镀制某些较厚的膜层时可以采用多次预熔的方法消除喷点。

4、规范清洗操作,加强清洗后的检查,提高清洗质量,消除因清洗而产生的潮斑(花斑)。

5、调整烘烤温度,消除烘烤原因产生的潮斑。

6、规范镀膜夹具的管理。每次投入使用前,夹具需要先经过清洗、烘烤(300度,3小时以上)才能投入生产。

7、设计镀膜夹具时,尽量采用在真空室内放气量小的材料,同时可采取夹具表面镀Ni的方法降低夹具的放气量,消除由此产生的潮斑(花斑)。

真空镀膜设备真空泵的选择

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三*型溅射离子泵，(或二*型非对称阴*溅射离子泵)对Ar有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的*限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的*限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg较好。通常选择泵的*限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。