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真空腔体的主要作用

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真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%——20%的低碳钢，具有优良的*腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270——900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，定制真空腔体，应用广泛。

真空腔体中抽气管道的设计原则

为一个工艺选择真空泵时，工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大，需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。

看起来似乎很简单，但是这里有许多因素需要考虑。实际上，如果我们从物理学角度考虑，定制真空腔体厂家，就可以明确哪些是关键因素。真空腔体

在稳定状态的条件下，如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝)，抽气管道任何截面的质量流量必须相同。简单而言，进入工艺室的气体必须从泵出来。

已知气体摩尔流量为M(公斤/摩尔)、抽气速率为S(立方米/秒)、压力为P(帕)、温度为T(开尔文)，则质量流量计算如下：

质量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)

Ro=通用气体常数

对于大多数抽气系统而言，气体温度(T)在抽气管道中不会显著减少，而且可以合理地假定为恒定的。

在此情况下，抽气管道任何截面(P*S)的乘积(称为通量)相同。真空腔体

由于抽气管道的压力差是气体流动的推动力，可见压力(P)必须在工艺室中为高值，定制真空腔体价格，在泵入口为低值。

由于我们假定通量恒定，可见抽气速率(S)在工艺室为小值，定制真空腔体公司，在泵入口为大值(等于泵速)。

真空腔体的焊接原则

超高真空腔体的弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。

真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现超高真空，要对腔体进行150——250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。