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按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。

气体输送泵包括：1、液环真空泵(水环真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等

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利用示踪气体氦气（有的特点）无孔不入的特点，确定量分析被检测工件的漏率，具有快速、**、成本低的特点，广泛应用与石油、化工、电力、核技术、冶炼、电子、半导体、造船、航天、航空、、空调、汽车、激光、实验室、离子等，检测对象包括腔体管路、元器件、封装等。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

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