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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产jia温度范围为35—45%。

净化车间压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入净化车间内的空气量适当的大于回风和排风量时，室内则可维持一定的正压值。此时，在室内外静压差的作用下，通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。

压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。对于洁净 空调系统来说，过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加，提供无尘实验室，从而影响风量，排风设备的时开时停也会导致排风量的变化；此外，与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查，并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。

◆空气净化的几种措施及特点：

　　⑴传统的布袋过滤集尘即在风口处安装用无纺布制作的集尘过滤装置，是现今国内大多*空调正在采用的净化方式，此种方式结构简单，成本低廉，易于安装，无尘实验室，使用率较广，但由于虑材孔径较小，故存在风阻大、噪音增加、耗电量*的弊端，更为严重的是适宜的温湿度使空气中的微生物快速繁衍，长沙无尘实验室，以至容易造成某些病如流1感、病和菌团病的传播，对室内人员危害*大。

　　⑵臭氧*净化臭氧的应用在近几年来越来越广泛，无尘实验室公司，因为臭氧本身的氧化性强，可以在短时间内*细1菌、病毒和其他微生物的生物结构，达到*祛味的作用。但值得注意的是，对于空气净化的这个领域，当臭氧的浓度超过一定范围时将表现出强烈的刺激性，对*有一定的危害。根据《室内空气中臭氧卫生标准》。(GB/T18202-2000)规定，臭氧平均高容许浓度为0.1mg/m3，浓度过低难以达到净化效果，过高则对**，对其浓度的有效控制问题增加了臭氧净化应用的难度，不利于此种方式的广泛应用。