辉光离子渗氮-丰热科技有限公司(图)

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

在射频辉光放电空间中，辉光离子渗氮，高频电子震荡已能产生足够的工作气体电离，对二次电子发射的依耐性减少了。射频磁控溅射气体放电时等离子阻*低，工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。??

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1933年德国Von Engel首1次报道了研究结果 ，利用冷却的裸电*在大气压氢气和空气中实现了辉光放电，但它很容易过渡到电弧，并且必须在低气压下点燃，即离不开真空系统。1988年，Kanazawa等人报道了在大气压下使用氦气获得了稳定的APGD的研究成果，并通过实验总结出了产生APGD要满足的三个条件：（1）激励源频率需在1kHz以上；（2）需要双介质DBD；（3）必须使用氦气气体。此后，日本的Okazaki、法国的Massines和美国的Roth研究小组分别采用DBD的方法，用不同频率的电源和介质，在一些气体和气体混合物中宣称实现了大气压下“APGD”。

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其基本炉型有罩式、井式、卧式，但是通常以罩式为常见。轰击表面的一部分氮夺取电子后直接渗人工件表面，在工件表面上形成含氮很高的呈蒸发状态的Fe，并不断向工件内部扩散，从而达到渗氮的目的。