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电子束蒸发镀膜机的技术特点

沈阳鹏程真空技术有限责任公司*生产、销售电子束产品,以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。

1、样品台:水冷样品座,电子束镀膜机公司,样品座高度可调,便于调整蒸距。调节范围:样品台与基片的可调节范围300mm.

2、电子枪:电子枪功率6kW可调(满足金属、绝缘材料高速蒸发)4穴水冷坩埚(适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应用效果好)。为保持E型电子枪蒸发绝缘稳定性,配制*束流扫描控制器,具有多种供控制程序进行选择的预设模式,方便于操作、实验数据积累。配套相应蒸发坩埚内衬,以适应不同材料,确保蒸发速率稳定性,重复性.



DZS800型电子束镀膜设备

主要用途:  

用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,批量生产型。

系统组成:  

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电*、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、计算机系统及安装机台等部分组成。  

技术指标:  

*限真空度:≤6.7×10 Pa  恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min  

系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;  

真空室:真空室1200x9000 x800mm采用U型箱体前开门,后置抽气系统  

e型电子枪:阳*电压:10kv(2套)  坩埚:水冷式坩埚,24穴设计,每个容量11ml  

功率:0-10KW可调  电阻蒸发源(可选)  

基片尺寸:可放置4″基片一次更换20个样品  

样品台:基片可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离350mm加热温度 400°C±1°C  

气路系统:质量流量控制器1路  

石英晶振膜厚控制仪:监测膜厚显*围:0-99μ9999?

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——*电子束产品供应商,我们为您带来以上信息。



电子束镀膜的应用

作为制备与加工难熔金属的核心技术之一,电子束技术已在高温合金的成型制造与精炼、高温合金的焊接、表面改性以及涂层制备等领域得到了广泛应用,并将不断涉足航空航天以及核工业等各个领域中。此外,随着对高温合金使用性能要求的不断提高以及新型高温合金的开发,电子束技术在高温合金中的应用也面临着新的挑战,电子束镀膜机多少钱,因此需要不断开发电子束技术的新方法与新工艺,苏州电子束镀膜机,如将计算模拟的方法与电子束技术相结合能有效指导材料的制备与加工,此外,电子束自动化技术的应用可实现对材料制备与加工过程的准确控制,在降低劳动强度的同时提高材料的使用性能。电子束技术与高温合金的发展相互促进,电子束镀膜机哪家好,电子束技术在高温合金中的应用也必然朝着较高的效率、低成本、低能耗的方向发展。此外,电子束技术的应用在大幅度提高高温合金的使用性能的同时,使得超高熔点合金的制备与加工成为可能。电子束技术与高温合金的开发紧密结合,不断发展,在高温合金中的应用领域将不断拓宽,应用前景值得期待。

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沈阳鹏程真空技术有限责任公司
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  • 公司地址:中国 沈阳市沈河区凌云街35号
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  • 企业类型:
  • 主营行业:电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束

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  • 联系人: 董顺
  • 电话:024-88427871
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