山西微加速度传感器选型-航新

石英挠性摆组件由中心盘、安装环、连接中心盘和安装环的两个挠性平桥以及 固定在中心盘上的两个铝质骨架的力矩器线圈组成。 在安装环上，每面有三个安装凸台，挠性平桥形成柔软的挠性支撑，使中心盘可以 绕挠性平桥的枢轴相对安装环转动。差动电容传感器由电容器的两个动*板（石英摆片 镀金区）和电容器的两个定*板（力矩器的端面）构成。力矩器是由两个铁磁组合和两 个顺向连接的力矩器动圈构成。摆组件靠挠性平桥支撑，它使得加速度计在输入轴方向 的刚度很小，呈近于自由的无约束状态，微加速度传感器选型，而在其它轴方向的刚度很大。因此，当沿加速 度计的输入轴有加速度作用时，由于摆质量的位置变化，使差动电容传感器的电容值发 生变化。力平衡电子放大器检测这一变化并产生一个再平衡电流加给力矩器，它产生的 电磁力矩有使摆质量回到原位置的倾向，直到与惯性力矩平衡。在力平衡状态下，测量 流过采样电阻的电流，便可以得到加速度计测量的加速度。 伺服电路主要由基准三角波发生器、差动电容检测器、电流积分器、跨导补偿放大 器和电压调节器等部分组成。

加速度传感器针对不同的应用场景，也在特性上体现为不同的规格。用户需根据自身的具体需要选取适合的产品。如汽车车身冲击传感器或洗衣机等家电的振动传感器等来说，需选用高频（50~100Hz）的加速度传感器；对于硬盘的跌落和振动保护，需要中频（20~50Hz）以上的加速度传感器；而手持设备的姿态识别和动作检测只需低频（0~20Hz）产品即可。加速度传感器的选取还需要考虑满量程（Full Scale，FS）、灵敏度及解析度等元件的特性。满量程表示传感器可测量的更大值和更小值间的范围；灵敏度与ADC等级有关，是产生测量输出值的更小输入值；解析度则表示了输入参数更小增量。除此之外，加速度传感器按输出的不同还可分为模拟式和数字式两种。其中模拟式加速度传感器输出值为电压，还需要在系统中添加模数转换（ADC）；数字式加速度传感器的接口芯片中已经集成了ADC电路，可直接以SPI或I2C等实现数字传输。数字式产品在成本上也有一定优势，因为高质量ADC通常比较昂贵，价格甚至可超过传感器部分的单独售价。

微加速度传感器选型包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电*和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；工业现场测振传感器，主要是压电式加速度传感器。由于三轴加速度传感器也是基于重力原理的，因此用三轴加速度传感器可以实现双轴正负90度或双轴0-360度的倾角，通过校正后期精度要高于双轴加速度传感器大于测量角度为60度的情况。三轴加速度传感器具有体积小和重量轻特点，可以测量空间加速度，能够准确反映物体的运动性质，在航空航天、机器人、汽车和医学等领域得到广泛的应用。