磁控溅射镀膜机-镀膜机-至成镀膜机厂家供应

真空镀膜机的真空室该如何设计呢?

真空镀膜机相比大家都存有疑惑，今天来讨论一下的是关于真空镀膜设备真空室的设计问题，要是您有兴趣了解的话可以和宝瑞钛金一起来看看下面的内容。

真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法，使物体表面获取所需膜体，真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等，这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。

真空室是真空设备的一个主要组成部位，真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和可靠性，结构必须要合理，真空设备的材料生产都是在真空室内进行的，材料对真空度的影响要小，设计不能马虎，要注意一些问题。

真空磁控溅射镀膜机的维护*及安全工作措施

真空卷绕镀膜机的维护*及安全工作措施如下：

1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置导电作用。

2、扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化。

3、定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通。

4、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵内未冷却至80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。

5、镀膜工作前必须接通全部设备冷却水，以防止电*和基材烧毁。

6、在拆装设备各零部件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证设备密封性能可靠。

7、设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封内腔均充以润滑油。使用一段时间就会损耗，必须以相同的润滑油充入。

8、经常检查罗茨泵和滑阀泵的存油量，并定期予以补充。同时按其说明书的要求进行维护*。

9、定期检查各行程开关控制器，保证各工作部件处于正常工作状态。

10、每天应对滑阀泵和气源进行排水。

11、定期检查各减速器的储油量及油质。

磁控溅射镀膜设备镀膜优势

磁控溅射镀膜机有很多种类型，有中频的，也有直流的。在生活中应用也是非常的广泛，如：手提电脑、手机壳、电话、无线通讯、试听电子、工具、表壳、手机壳、五金等。它的优势也是非常的凸显.

磁控溅射镀膜设备配置了等离子体处理装置，磁控溅射阴*和电阻蒸发装置等，设备沉积速率快，镀层附着力好，镀层细腻致密，表面光洁度高，且均匀性一致性良好;该机实现镀膜工艺全自动化控制，装载量大，工作可靠，合格率高，生产成本低，绿色环保。该设备主要广泛应用于电脑壳、手机壳、家用电器等行业，可镀制金属膜、合金膜、复合膜层、透明(半透明)膜、不导电膜、EMI电磁屏蔽膜等。

磁控溅射镀膜机将磁控溅射技术和真空蒸发技术结合在同一真空镀膜设备里，既利用磁控溅射阴*辉光放电将靶材原子贱出并部分离化沉积在基材成膜，同时又可利用在真空中以电阻加热将金属镀料熔融并让其气化再沉积在基材上成膜，增加了设备的用途和灵活性。该设备应用于手机壳等塑料表面金属化，应用于不导电膜和电磁屏蔽膜沉积。