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Parylene高的绝缘强度和它的干膜润滑性能使它完全能适合

除了这些内在的性质以外Parylene类涂层有优异的电性能,它有优异的节电性能-低的介质损耗和高的介电强度,同时它还具有优良的机械性能,有高的机械强度和低的摩擦系数,这二者的结合使Parylene成为对小型绕线伤害元件能能适用的绝缘层。细铜线的绝缘漆在严格的绕线操作时会被损坏,尤其是对较小的环形和圆筒形器件需要用一个涂层,它不仅能提供绝缘而且也能消除摩擦引起的绕线时对线的损伤。Parylene高的绝缘强度和它的干膜润滑性能使它完全能适合于这种应用。


Parylene气相沉积涂敷工艺

  在微电子领域,近些年Parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene,更被国外集成电路研究者所青睐,用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。    Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时,东莞马达风扇镀膜工厂,在工作上有很强的渗透性,东莞马达风扇镀膜价格,能渗透到SMT贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中,*形成完全敷形,均匀一致的防护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂,即使在0.1微米厚也没有,气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜,没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力,对工件能进行表面加固,但不会引起伤害,也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。


Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,马达风扇镀膜,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。


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