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氦质谱检漏的优越性

氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理， 以氦作示踪气体， 对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。

由于氦是惰性气体， 对大气*， 使用比较安全； 而且氦的原子量小、粘度小， 容易渗透过任何可能存在的漏隙， 因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广； 另外氦在大气中含量少(仅万分之五) ， 离子质量与其它气体离子质量相差很大， 不易受干扰， 错判几率小。所以，检漏仪哪里有， 与其它诸多检漏方法比， 氦质谱检漏具有的优越性。

随着科学技术的不断发展， 检漏应用技术在不断地更新， 氦质谱检漏技术也在不断扩展到更广阔的领域当中。为提高产品合格率和生产效率， 不应一味沿用的古老且落后的手段处理泄漏问题。

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氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求

氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，检漏仪厂家，性能稳定可靠。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理，采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换，具有检测速度快、检测灵敏度高、*干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点：

1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；

2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；

4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。

5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。

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氦检漏设备的工艺流程

A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，检漏仪价格，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;

B1:若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止;

B2:若A1检测通过，检漏仪，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测;

C1:若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止;

C2:若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。