沈阳鹏程有限公司-电子束蒸发镀膜设备公司

电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？

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设备组成：

设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。

作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，*腐蚀和耐高温氧化膜。

电子束蒸发镀膜机安装介绍

安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。

机架：碳钢制作，表面喷塑处理，秦皇岛电子束蒸发镀膜设备，不锈钢面板，支撑真空腔体及真空系统，电子束蒸发镀膜设备公司，底下配脚轮，方便移动、定位。

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电子束镀膜机电源柜的操作

1. 总电源

2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延迟开关、电源及保护灯亮，三分钟后延迟 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，电子束蒸发镀膜设备多少钱，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

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