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真空镀膜机原理和各部件分析一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔体由不锈钢"target=_blank>不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。二、辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。


AF防*真空镀膜机防*处理的工艺流程:


(1)使用弱碱性清洗剂或溶剂去除基材表面油分、水分等污迹,通过超声波清洗效果更好;(2)将AF药液镀在产品表面成膜;(3)烘烤:喷涂后取出玻璃,放入烤箱(120度,30分钟),视具体要求及产品情况调整至良好;(4)清洁:产品清洁后,成品包装。

AF防*真空镀膜机特点和应用领域:

(1)防污性:防止*及油污不容易粘附、轻易擦除;(2)防刮伤:表面滑顺,手感舒服,不容易刮花;(3)膜层薄:优异光学性能、不改变原有的纹理;(4)*性:具有真度*性能

AF防*真空镀膜机的品质:

(1)擦伤测试及水滴角指标:(2)初始水滴角115-120度,(3)擦伤测试(#0000钢丝绒、1KG压力、10*10MM摩擦接触面积、40-60RPM摩擦周期、40-60MM摩擦行程、(4)摩擦次数2000次)后,水滴角108-116度。(5)表面硬度以日本旭硝子玻璃钢化盖板为例,9HMax.铅笔硬度。



多功能镀膜设备及镀膜方法与流程


现在,真空镀膜机是用于外表处理PVD膜层的*设备,包含真空磁控溅射镀膜机、真空蒸腾镀膜机、真空多弧离子镀膜机等,真空磁控溅射镀膜机可在低温状态下进行非金属资料进行镀膜,真空蒸腾镀膜机和真空多弧离子镀膜机归于高温镀膜,适用于金属资料镀膜。

每种镀膜机都有各自特色和使用范围约束,如需镀制多种不同膜层以及进行金属和非金属资料的镀膜,需求置办上述多种真空镀膜机,存在设备出资大的缺陷。


为了处理上述问题,供给一种多功能镀膜设备及镀膜办法。手套箱蒸镀一体机,本体系由真空镀膜体系和手套箱体系集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完结薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体空气下进行样品的寄存、制备以及蒸镀后样品的检测。首要用于太阳能电池钙钛矿、OLED和PLED、半导体制备等试验研讨与使用。

蒸腾镀膜与手套箱组合,完成蒸镀、封装、测验等工艺全封闭制造,使整个薄膜成长和器材制备进程高度集成在一个完好的可控环境空气的体系中,消除有机大面积电路制备进程中大气环境中不稳定要素影响,保证了、大面积有机光电器材和电路的制备。


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