MFC质量流量控制器VIC-D210

MFC质量流量控制器VIC-D210   MFC质量流量控制器VIC-D210    MFC质量流量控制器VIC-D210 

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工作Q:1139878854

质量流量控制器，即MassFlowCo*oller(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
质量流量控制器（Mass Flow Co*oller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。在石化工业，生化，半导体和集成电路工业材料学科，医疗，蔬果保险，加气饮料，环保和真空等多种领域的科研和生产中有重要的应用。
 

气体质量流量控制器
TSC-D220，TSC-D210，TSC-D245，TSC-D200，TSC-D230，TSC-D145，TSC-D150，TSC-D120 
VIC-D200series
VIC-D210  VIC-D220  VIC-D240   VIC-D245  VIC-D145  VIC-D150
TSC-D200series 
TSC-M245  TSC-M250  TSC-M255
TSM-D200series
TSM-D210  TSM-D220  TSM-D230  TSM-D240  TSM-D245  TSM-D250  TSM-D220D
VIC-D100series
VIC-D145 VIC-D150
CAF-100series
CAF-145  CAF-150  CAF-155
PSC-D200series
PSC-D245 PSC-D255
EPC-D200series
EPC-220  EPC-245
韩国HITROL控制器
HLC-G1 HLC-G2 HLC-200 HLC-200A HLC-200F 
HLC-200FA HLC-200L HLC-300
HITROL液位开关
HTM-930   HR-30S-3F HLG-100F HLG-100FT
HM-90 HM-95 HM-90S MH-90SE HR-30S HR-30T 
HR-30V  HM-12S   HM-12H HM-12D HM-10 HPC-509N 
HCC-75P HT-100W  HTM-230 HTM-330 HTM-430 
HLT-2110 HTM-920 HTM-921 HLC-900 HLC-900L
HNV-970 HLV-300 MWBS-TR-01 MWBS-RC-01 
HTG-200G HTH-100 HCC-96RF-R HLC-96RF-R 
HT-100F HAPT-1F HAPT-2F MWLM-FM-T MWLM-FM-S
HWFS-SW-01 HAT-1000 HAT-5000 HTMT-2000 
HT-100R HT-100PS HT-100RT HT-100RT 
HT-100RV HT-100C-2 HPC-100C HLC-100C-P
HAC-10 HAC-11 HAC-1 HT-100PS HT-100PT 
HPT-100PS HPT-100PT HT-100W HT-100WS ST-39 SB-39 ST-38 ST-39 HFS-2T HFS-2S
液位计：HFR-981 HFT-7100 HMF-700 HFC-6532G HFC-6532S 
HFV-0015 HFV-0020 HFV-0025 HFV-0032 HFV-0040 HFV-0050 HFV-0065 HFV-0080 HFV-0100 HFV-0125 HFV-0150 HFV-0200
HFV-0250 HFV-0300 HFV-0350 HFV-0400 HFV-0450 HFV-0500 HFV-0550 HFV-0600 HFV-0650 HFV-0700 HFV-0750 HFV-0800
HFV-0850 HFV-0900 HFV-0950 HFV-1000 HFV-1050 HFV-1100 HFV-1150 HFV-1200 IVCM-01  IVCM-1H IVCM-3Q HMF-800L HMF-800R
HMF-800S HHG-1FA HHG-1FB HHG-2FA HHG-2FB HSG-1FA HSG-1FB  HSG-2FA  HSG-2FB  HSG-3FA HSG-3FB HCC-609N-FS HCC-75R-FS
液位传感器
HM-95 HM-95-EX HM-95H HM-95H-EX HM-95V HM-95V-EX HM-95VH HM-95VH-EX
HM-90S HM-90S-EX HM-90SH HM-90SH-EX
HR-30  HR-30CH-EX 

产品参数：
TSM-D200   量程范围：0-7sccm
TSM-D210   量程范围：7-1500sccm
TSM-D220   量程范围：1.5-30slm
TSM-D230   量程范围：30-100slm
TSM-D240   量程范围：100-400slm
TSM-D245   量程范围：400-1000slm
TSM-D250   量程范围：1000-2500slm
TSM-D260   量程范围：2500-5000slm
TSM-240SY
流量测定范围：2%-100%满量程
精度：TSM-D200至TSM-D230：≤&plu*n;1%；以上：≤&plu*n;2%
响应时间：≤1sec
重复性：≤&plu*n;0.2%满量程
选项：显示
密封材料：Vtion，Kalrez,PTFE等（可选）
数字接口：RS485
信号类型：模拟0-5V或4-20mA，数字RS485
法兰：3/8，1/2，3/4卡套或VCR，JIS系列（可选）
电源：+15-24VDC
温度范围：5-50℃
预热时间：15min