上海感应耦合等离子体刻蚀机-创世威纳科技公司
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- 名称北京创世威纳科技有限公司 【公司网站】
- 所在地中国 北京 昌平
- 联系人 苏经理
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价格
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- 采购量 不限制
- 发布日期 2020-06-16 13:15 至 长期有效
上海感应耦合等离子体刻蚀机-创世威纳科技公司产品详情
感应耦合等离子体刻蚀机的结构三
创世威纳*生产、销售感应耦合等离子体刻蚀,我们为您分析该产品的以下信息。
供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体,通过压力控制器(PC)和质量流量控制器(MFC)*的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。
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等离子刻蚀工艺
高密度等离子体源在刻蚀工艺上具有许多优势,例如,可以更准确地控制工作尺寸,刻蚀速率更高,更好的材料选择性。高密度等离子体源可以在低压下工作,从而减弱鞘层振荡现象。使用高密度等离子体源刻蚀晶片时,为了使能量和离子通量彼此*,需要采用*射频源对晶圆施加偏压。因为典型的离子能量在几个电子伏特量级,感应耦合等离子体刻蚀机供货商,在离子进入负鞘层后,其能量经加速将达到上百电子伏特,感应耦合等离子体刻蚀机原理,并具有高度指向性,从而赋予离子刻蚀的各向异性。
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感应耦合等离子体刻蚀机的结构四
真空系统真空系统有两套,感应耦合等离子体刻蚀机厂家,分别用于预真空室和刻蚀腔体。预真空室由机械泵单独抽真空,只有在预真空室真空度达到设定值时,才能打开隔离门,进行传送片。刻蚀腔体的真空由机械泵和分子泵共同提供,刻蚀腔体反应生成的气体也由真空系统排空。
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