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单槽旋转喷淋清洗机-秦皇岛旋转喷淋清洗机-价格从优

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此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学*很少,对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越*,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,单槽旋转喷淋清洗机,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。












密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发,减少溶液的损耗以及溶液蒸气对*和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学*,在使用时到达喷口之前才混合,使其保持新鲜,单工位超声旋转喷淋清洗机,以发挥潜力,这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口,使其形成很细的雾状,秦皇岛旋转喷淋清洗机,至硅片表面达到更好的清洗目的。


旋转喷淋装置的安装不仅使厂区的环境得到了较好的改善,吸附空气中的灰尘颗粒和杂质,降低扬尘,炎热高温季节,可为室外作业人员带来一丝凉意,该项技术后期将推广至唐承区域各站点施行,为共创环保型企业做贡献。










2000年成立济南鑫能信洗净设备有限公司,于2007年公司和山东大学合作注册济南巴克超声波科技有限公司,*从事超声波清洗设备、中高压喷洗设备的的研发、制造与销售。总部位于济南市临港开发区,总注册资本金800万元,标准化厂房面积13000余平方米,年产值4000多万元。

旋转喷淋清洗机简介

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1.节能环保,往复式旋转喷淋清洗机,相对普通的水基超声波清洗机耗电量减少50%以上;

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公司于2008年通过了ISO9001质量管理体系认证和欧盟CE标准认证。目前在国内先后成立了济南、成都、沈阳、上海四家分公司,并在青岛、北京、大连、长春、哈尔滨、西安、郑州、南京、武汉、重庆、武汉等地设有办事处和服务中心。


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