感应耦合等离子体刻蚀机厂家-感应耦合等离子体刻蚀机-创世威纳
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- 名称北京创世威纳科技有限公司 【公司网站】
- 所在地中国 北京 昌平
- 联系人 苏经理
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价格
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- 采购量 不限制
- 发布日期 2020-06-08 12:17 至 长期有效
感应耦合等离子体刻蚀机厂家-感应耦合等离子体刻蚀机-创世威纳产品详情
感应耦合等离子体刻蚀机的原理
感应耦合等离子体刻蚀法(Inductively Coupled Pla*a Etch,简称ICPE)是化学过程和物理过程共同作用的结果。它的基本原理是在真空低气压下,ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈,以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电,产生高密度的等离子体,在下电*的RF 射频作用下,这些等离子体对基片表面进行轰击,基片图形区域的半导体材料的化学键被打断,与刻蚀气体生成挥发性物质,以气体形式脱离基片,从真空管路被抽走。
如果需要进行刻蚀,和蚀刻后,除污,清除浮渣,表面处理,等离子体聚合,等离子体灰化,或任何其他的蚀刻应用,感应耦合等离子体刻蚀机,我们能够制造客户完全信任的等离子处理系统,以满足客户的需要。我们既有常规的等离子体蚀刻系统,也有反应性离子蚀刻系统,我们可以制造系列的产品,也可以为客户定制特殊的系统。我们可以提供快速/*的蚀刻,减轻等离子伤害,感应耦合等离子体刻蚀机厂家,并提供的均匀性。
等离子体处理可应用于所有的基材,甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗,等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低,感应耦合等离子体刻蚀机生产厂家,因此,感应耦合等离子体刻蚀机工作原理,低压等离子体也能处理敏*材料。
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感应耦合等离子体刻蚀机的结构三
创世威纳*生产、销售感应耦合等离子体刻蚀,我们为您分析该产品的以下信息。
供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体,通过压力控制器(PC)和质量流量控制器(MFC)*的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。
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感应耦合等离子体刻蚀机的结构四
真空系统真空系统有两套,分别用于预真空室和刻蚀腔体。预真空室由机械泵单独抽真空,只有在预真空室真空度达到设定值时,才能打开隔离门,进行传送片。刻蚀腔体的真空由机械泵和分子泵共同提供,刻蚀腔体反应生成的气体也由真空系统排空。
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