特佰鑫金属加工供应 钛靶 镍靶 钛合金靶材 镍合金靶材
第一枪帮您来“拼单”,更多低价等你来!特佰鑫金属加工供应 钛靶 镍靶 钛合金靶材 镍合金靶材
- 名称陕西特佰鑫金属科技有限公司 【公司网站】
- 所在地中国 陕西 宝鸡 渭滨区
- 联系人 陈先生
- 价格 ¥100元/个 点此议价
- 采购量 1个
- 发布日期 2023-07-22 19:51 至 长期有效
特佰鑫金属加工供应 钛靶 镍靶 钛合金靶材 镍合金靶材产品详情
- 包装:袋装或箱装
- 品牌/厂家:其他
- 材质类型:金属靶材
- 牌号:TA1TA2TA9TA10N4N5N6
- 材料名称:钛,镍
- 规格:定制
- 形状:圆形
- 用途:半导体工业,电子等
- 制备工艺:锻造,精加工
- 成份:钛,镍
靶材的主要性能要求: 纯度 纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。
不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。
例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量 靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。
不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。
例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放#性元素含量都有特殊要求。
表面工程用靶材
品 名 |
纯度 |
密度 |
镀膜优势色 |
形状 |
常规尺寸 |
应用行业 |
钛铝(TiAl)合金靶 |
2N8-4N |
3.6-4.2 |
玫瑰金/咖啡色 |
圆柱形 |
直 径 60/65/95/100*30/32/40/45mm |
装 饰 / 工 具 |
纯铬(Cr)靶 |
2N7-4N |
7.19 |
白色/黑色 |
圆柱形 |
||
纯钛(Ti)靶) |
2N8-4N |
4.51 |
金色/枪黑色 蓝色/玫瑰红 |
圆柱形 |
||
纯锆(Zr)靶 |
2N5-4N |
6.5 |
金色 |
圆柱形 |
||
纯铝(Al))靶 |
4N-5N |
2.7 |
银色 |
圆柱形 |
||
纯镍(Ni)靶 |
3N-4N |
8.9 |
金属本色 |
圆柱形 |
||
镍钒(Ni)靶 |
3N |
8.57 |
蓝绿色 |
圆柱形 |
||
纯铌(Nb)靶 |
3N |
8.57 |
白色 |
圆柱形 |
||
纯钽(Ta)靶 |
3N5 |
16.4 |
黑色/紫色 |
圆柱形 |
||
纯钼(Mo)靶 |
3N5 |
10.2 |
黑色 |
圆柱形 |
密度 为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。
靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。
靶材密度越高,薄膜的性能越好。
此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。
密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布 通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。
对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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