电子束镀膜机哪家好-南昌电子束镀膜机-沈阳鹏程

DZS800型电子束镀膜设备

主要用途：　　

用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等，批量生产型。　　

系统组成:　　

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电*、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、计算机系统及安装机台等部分组成。　　

技术指标：　　

*限真空度：≤6.7×10 Pa　　恢复真空时间：从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min　　

系统漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；　　

真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱体前开门，后置抽气系统　　

e型电子枪：阳*电压：10kv(2套)　　坩埚：水冷式坩埚，24穴设计，每个容量11ml　　

功率：0-10KW可调　　电阻蒸发源(可选)　　

基片尺寸：可放置4″基片一次更换20个样品　　

样品台：基片可连续回转，转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离350mm加热温度 400°C±1°C　　

气路系统：质量流量控制器1路　　

石英晶振膜厚控制仪：监测膜厚显*围：0-99μ9999?

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电子束蒸发镀膜机设备性能介绍

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设备性能技术指标：

1、设备*限真空度：5×10-5Pa（电子枪静止状态）。

2、设备总体漏放率：关机12小时后，真空度≤8Pa。

3、从大气到抽到≤9×10-4Pa，40min(新设备充干燥氮气)，电子束镀膜机价格，提高了工作效率。

4、真空漏率：≤10-7Pa.l/s

电子束蒸发镀膜设备介绍哪些性能？

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真空测量：采用数显复合真空计（两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空）， 测量范围为1×105Pa —1×10-5Pa。

断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。