真空镀膜机维修-捷诚-潮州镀膜机维修

镀膜机维修原理和机械泵的参数

机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用广泛，本文主要介绍)四种类型。

机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有*限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的*限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积，转速为n。

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镀膜机维修的*小窍门

真空镀膜产品长期暴露在空气中，面对酸碱等强腐蚀性物质的接触，还是难以抵挡。因此，平时*维护时，尽量不选用含强酸强碱或去污能力强的清洗剂，如洁厕精，脱漆剂，金属清洗剂等，可以选用工业酒精用绒布轻柔擦拭；如果表面有污垢，也要选用弱酸弱碱溶剂来处理。

此外，如果长时间暴露在恶劣环境中，或与腐蚀性液体长时间接触，PVD膜层也容易出现脱落等问题，如游泳池（含氟），海水（含盐分多），高温高湿（蒸汽）等环境中。

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真空泵在镀膜机维修中的作用

有机复合信息存储薄膜研究取得的成果说明真空技术在未来的纳米电子器件的研究中仍占有*其重要的地位。目前超高真空的获得和测量技术已经成熟，但更广泛的应用，

特别是为发展未来信息社会的关键技术一纳米电子器件中，真空技术的应用还是非常有吸引力的课题，大量的工作有待开发。在即将到来的21世纪，真空技术将随着纳米电子学进入信息社会的各个领域，发挥越来越大的作用。

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