DZS450型电子束蒸发镀膜机报价-沈阳鹏程

电子束蒸发镀膜的优势

电子束蒸发的优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，DZS450型电子束蒸发镀膜机，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。

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电子束操作及注意事项

①电子枪工作前必须检查水流是否正常，工作过程中务必保证水压、水流量指示，否则将造成坩埚损坏。?

②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸发前电子枪的阴*灯丝应预热，DZS450型电子束蒸发镀膜机定做，预热电流为0.6A，预热时间新阴*5分钟以上（应缓慢调至0.6A，DZS450型电子束蒸发镀膜机生产厂家，以防阴*变形），旧阴*2分钟即可。?

④蒸发前对材料先预热除气。?

⑤蒸发完后，按下列顺序关闭高压电源：关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至低位置→关闭磁场电源，工作时操作顺序与此顺序相反。?

⑥电子枪灯丝停止加热后，要停留10分钟以上才能向蒸发室放气

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电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍

1、系统自动监控和保护功能强，包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。

2、分子筛吸附装置，避免机械泵返油造成膜层污染，提高薄膜纯净度。

3、膜厚监测及控制系统，DZS450型电子束蒸发镀膜机报价，可在线监测及控制膜层厚度，膜厚仪与基片挡板联动，形成闭环控制。采用晶振膜厚仪

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