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Leica EM RES102 通过离子枪激发获得离子束,多功能离子减薄仪代理,以一定入射角度对样品进行轰击,以去除样品表面原子,从而实现对样品的离子束加工。Leica EM RES102主要功能为:对无机薄片样品进行离子减薄,使得薄片样品可被透射电子穿过,从而适宜TEM透射电子显微镜观察;



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可选配样品台:TEM样品台(Φ3.0mm或Φ2.3mm),FIB样品清洗台,SEM样品台,

SEM样品台可容纳*大样品尺寸:直径25mm,高度12mm

全电脑控制,触摸屏操作界面,内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程

具有2把离子枪,多功能离子减薄仪,离子束能量为0.8keV-10keV,相对位置,可分别±45°倾斜,样品台倾斜角度-120°至 210°,离子束加工角度0°至90°,样品平面摆动角度<360°,垂直摆动距离±5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择(系统备有参考参数,也可自行设置参数并存储)



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.扫描电镜SEM样品离子刻蚀

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.聚焦离子束FIB样品去除非晶损伤层

全马达控制的双离子枪和样品台


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