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什么是光刻掩模板


 在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并,以便用于光致*蚀剂涂层选择性*的一种结构,称为光刻掩模版。

  半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻工艺,在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电*接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。光刻工艺需要一整套(几块多至十几块)相互间能套准的、具有特定几何图形的光复印掩蔽模版。





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光掩膜一般也称光罩,制版,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版,制版报价,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过*将图形转印到产品基板上。光掩膜主要由两部分组成:基板和不透光材料。

作为半导体、液晶显示器制造过程中转移电路图形“底片”的高精密工具,光掩膜是半导体制程中非常关键的一环。




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光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过*过程将图形信息转移到产品基片上。



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