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兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些？

干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。蚀刻速率越快，则产能越快，有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制，一般而言，在其它因素尚可接受的范围内，蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标，均匀度越好意谓着有较佳的良率，当晶圆尺寸越来越大，均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳，除了少数特例，如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole)，为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage)，因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。

除油不净的原因有：溶液事先清洗不干净——除油溶液温度低，时间短——除油溶液浓度低，根据问题出现的原因，对应加强溶剂的清洗工作，提升除油溶液温度到规范区间，加强除油时间以及提高除油溶液浓度到工艺范围就可以解决了，关键是在操作前，作业师傅或者技术员对相关浓度与温度以及时间要有准确的判断，设定合适的蚀刻工艺。

工件表面有印迹，主要可能的原因是工件表面残有残碱或者残酸，和材料产生化学反应，有了锈迹，一般是除油和光化处理后清洁不到位引起的，因此要加工强水洗工作，去除残碱残酸；另外材料或者工件在腐蚀场合停留过久也会与空气中的酸碱产生反应，导致印迹的产生，因此工件经过清洗后，要尽快转入防蚀层的制作工序。

平面蚀刻加工不锈钢薄材产品一般由于产品和材料之间必须有相连的部份，我们称之为蚀刻钢片的连接点。

蚀刻钢片的连接点因材料厚薄，产品设计等因素，连接点可大可小，一般应设计成小于0.5mm宽大小。设计时可以对连接点部份的钢片进行半蚀刻，以减少产品和钢片之间的连接力度，以利于拆解。

蚀刻钢片的连接点分为凸出式和内凹式。

凸出式连接点会形成一个小的毛剌，需要后期进行打磨或研磨。一般针对厚材不锈钢蚀刻产品。如标牌，铭牌，警示牌，地铁地线标专等。有些要求不高的产品，可以不经过打磨。

内凹式连接点，一般会形成一个小缺口。缺口宽度一般小于1mm宽。深度约在0.5mm。缺口式连接点设计一般针对精密零配件，以功能件为主。主要优势在于不会形成凸出的毛剌，且缺口对产品的使用功能不存在影响，无需打磨。