念龙化工(图)-空调氮气打压-氮气打压

长输管道氮气置换

3 置换对氮气的要求及氮气量的计算 (1) 对氮气的要求。长输管道置换对氮 气的要求 : 氮气出口温度必须高于 5 ℃; 注到管道 里氮气中的含氧量要低于 2 %。 (2) 氮气量的计算。庆哈管道对双合首站及双 合首站至 1 # 阀室的 151 866 km 管道进行氮气置换 ， 根据氮气置换管路容积计算氮气用量。置换完成后 压力达到 0104 MPa ， 共需用氮气量约为 8 900 m3 。 若采用液氮时 ， 1 t 液氮转化为 1 个标准大气 压、5 ℃状态下的氮气体积为 808 m3 。

4 氮气置换过程 (1) 注氮地点的选择。全线只选择一个注氮 口 ， 地点选择在首站 ，*空调氮气打压， 氮气顺气流方向进行置换。 (2) 计算氮气与空气混气头到达阀室时间。根 据氮气的流速 ， 计算出氮气至空气混气段气头到达 阀室的预计时间 ， 方便操作人员按时在阀室进 体检测等操作。庆哈管道工程于 2007 年 11 月 20 日 10 时开始氮气置换 ， 氮气至空气混气段气头到 达 1 # 阀室的预计时间为 20 时 10 分。 (3) 氮气置换操作方法。将注氮车连接首站管 道 ， 注氮过程中 ， 在下游阀室进行引气放空。首站 先置换主管道 ， 当在出站的管道上检测到纯氮气 后 ， 分别对放空和排污管线进行置换 ， 方法是将 DN50 以上阀门打开 30 %后立即关闭、DN50 及以 下阀门全开然后关闭。 根据测算氮气与空气混气头到达阀室的时间。 提前在阀室用 0～25 %便携式含氧量分析仪在管道 上压力变送器或压力表的取样口检测氮气和空气混 合段气体的含氧量 ， 当检测到氧气含量从 21 %开 始下降时 ， 证明氮气和空气混气头已到检测点 ， 再 继续检测 ， 当检测到氧气含量降至 2 %时 ， 既可认 为管路内是纯氮气 ， 然后停止放空直至管路压力升 至 0104 MPa 时氮气置换工作完成。

实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，空调氮气打压，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是**气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，氮气打压，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有*体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有*体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对*危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动*控制室和现场的相关报警系统LAU，氮气怎样打压，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
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