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随着微机电技术的发展,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电*,衡水位移传感器,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,当薄膜随质量块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构,它的可靠性是相当高的。


位移测量传感器[2-3]按照测量原理可分为电感式位移传感器、电涡流式位移传感器、超声波位移传感器、电容位移传感器等。其中,电感式传感器和电涡流式传感器在具体实验中虽然具有连续测量、精度较高等优点,位移传感器报价,但都会有系统复杂且制造困难等问题;超声波传感器具有波长短、频率高、方向性好等优点,但是易受反应堆内环境影响,造成测量困难,会产生不小的误差,且超声波传感器由于置于控制棒外壳内部,使得维修不易。相比较而言,电容传感器具有一定的优越性,它具有可靠性高、响应速度快、测量精度高等优点,且结构简单,使用方便。因此,本文使用电子六所研制的电容式位移传感器对控制棒数据进行研究。控制棒落棒过程为直线下落运动,落棒时控制棒位移与电容值之间的关系对指示棒位非常重要。本文分别使用三次样条函数、二乘法和BP*网络算法,对位移测量得到的数据进行曲线拟合分析,位移传感器厂家,确*移与电容值之间的关系。


位移传感器

它是以相对的输出电压来呈现出所测量位置的实际上的位置。对这个装置的工作有下面几点要求:

1、如果电子尺已经使用很长时间了,而且密封已经老化,同时夹杂着很多杂质,电容式位移传感器,而且水混合物和油会严重影响电刷的接触电阻的,这样会使显示的数字不停地跳动。这个时候可以说直线位移传感器的电子尺已经损坏了,需要更换。

2、若电源的容量很小,就会出现很多情况的,所以,供电电源需要有充分的容量。那么,容量不足,就会造成如下的情况:熔胶的运动会使合模电子尺的显示变换,有波动,或者合模的运动会使射胶电子尺的显示波动,造成测量结果误差很大。如果电磁阀的驱动电源于直线位移传感器供电电源同时在一起的时候,更容易出现以上的情况,情况严重时用万用表的电压档甚至可以测量到电压的有关波动。如果情况不是因为高频干扰、静电干扰或者是中性不够好的造成的,那么就有可能是电源的功率太小造成的。

3、调频干扰和静电干扰都有可能让直线位移传感器的电子尺的显示数字跳动的。



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