卓宇泰-浙江无尘室设备*多少钱-厂房无尘室设备*多少钱

并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级****为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级Class 1~100级。洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用*之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高之洁净空间，工厂无尘室设备*多少钱，其等级为10~1000级，浙江无尘室设备*多少钱，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，工厂无尘室设备*多少钱，方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10，000级房间，工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，厂房无尘室设备*多少钱，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3～5%浓度的IPA或*，以增强去污能力，由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免*地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级****至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。