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电子气体的特点
电子气体(Elect ron ic gases) ：半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4 _6 m p- _4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是****气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级、L S I (大规模集成电路) 级、VL S I (超大规模集成电路) 级和UL S I (特大规模集成电路)级。
气体的分离

气体分离通常使用由聚合物（例如纤维素）或其他材料制成的合成膜进行。近年来，研究已经转向许多人所谓的膜：单层石墨烯，一个厚度为单个原子，现已被证明是****薄的分子屏障，因此是有效的膜，具有优异的渗透率与稳健性和可扩展性。然而，开发石墨烯的进展遇到了两个“瓶颈”：一，缺乏将分子大小的孔结合到石墨烯层中的方法；第二，缺乏实际制造机械坚固、无裂纹和无撕裂的大面积膜的方法。现在，在解决这两个问题的突破中，EPFL 研究团队开发了一种大面积单层石墨烯膜，它能以有效率(分离系数高达25)从jiawan中分离氢，并且开发出未有的氢，孔隙度仅为0.025%。

通常标准气体的使用有效期是根据稳定性试验结果来加以确定的。有效期是指浓度变化率不超过规定指标的时间间隔。钢瓶标准气体浓度很低时，其浓度变化较大，高纯*气批发，因此从稳定性的现点来看，组分气体浓度越高越稳定。高压钢瓶标准气体的浓度即使在5×10-5以上，钢瓶中的组分气体仍在发生变化，所以一般把能够保证标准值的有效期定为半年至一年。如果有些准气体已超过有效期，但容器中的残压在8MPa(80atm)以上时可以再次测定，高纯*气多少钱一瓶，确定值后继续使用。随着用户消耗标准气体而残压变化时，高纯*气，被吸附在容器内壁上的各种成分气体便解吸下来，使浓度值发生变化。一般规定，高压钢瓶标准气体的残压低于1MPa(l0atm)时，停止使用。

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